精密光学 · 微米级测量

光栅技术

透射/反射光栅 · 衍射干涉 · 高分辨率定位
稳健运营工业自动化与科研领域的核心传感元件
分辨率 0.1μm 量程 200mm 频率 4MHz
工作原理

莫尔条纹

指示光栅与标尺光栅叠加形成明暗条纹,通过光电转换获取位移信息。

光电扫描

LED 光源经透镜准直,照射光栅,由光敏元件接收,产生正弦/余弦信号。

细分插补

通过电子细分将原始信号细分至纳米级,实现高精度位置检测。

数字输出

支持 A/B/Z 差分信号、SSI、BiSS 等协议,兼容主流控制器。

光栅距 20μm / 40μm 响应速度 2m/s 工作温度 -10°C ~ 70°C 防护等级 IP53
精度 ±1μm · 线性度 < 0.5%
典型应用

精密机床

数控机床、磨床、测量机的位置反馈,保障加工精度。

半导体设备

光刻机、晶圆检测台,提供纳米级运动控制。

自动化产线

线性模组、贴片机、3D 打印,高速动态定位。

多种光栅尺 · 定制刻线 技术支持 400-8820-光栅 查看产品选型